分体式设计,安装灵活
传感器(SD)直插真空腔 / 管道,转换器(LD-450)壁挂,2 米标准线缆(*长 10 米)连接,节省空间且远离高温 / 干扰区。
传感器接口:NW16/25/40 真空法兰或R3/8 螺纹,适配多数真空设备。
超宽量程,高精度
测量范围:0.001ppm(ppb)~100vol% O₂,支持自动 / 固定量程切换;氧分压显示10⁻²⁰~10⁰ atm。
重复性:≥1% 量程时 **±0.5% FS**;<1% 量程时 **±1% FS 或 ±1ppm(取大值)**。
超快响应,低延迟
预热≤6 分钟;响应时间 **≤1 秒 **(单独传感器),实时捕捉氧浓度波动。
高耐用性,长寿命
传感器特殊涂层 + 内置保护机制,抗污染、抗腐蚀,适配长期连续运行。
丰富输出,易集成
LD-450-T:4-20mA 模拟输出+2 点浓度报警 + 1 点异常触点。
LD-450-C:RS-232C 串口通信(D-sub 9 针),可对接上位机。
半导体:真空镀膜、溅射、刻蚀设备氧监测。
真空设备:真空炉、退火炉、密封腔体氧含量控制。
惰性环境:手套箱、焊接保护气、金属 3D 打印舱氧监控。
工业过程:高纯气体、保护气氛、管道微量氧检测。