前级耐压:*高1.1 mbar(适配干泵 / 罗茨泵组合)
振动:<0.01 mm/s(超低振动,适配精密仪器)
噪音:<38 dB (A)(静音运行)
轴承系统:5 轴主动磁悬浮,无机械接触、终生免维护
润滑 / 洁净:全无油设计,无碳氢污染,满足ISO 7 级洁净室
认证:CE、SEMATECH、ATEX(可选防爆)、UHV(全金属密封)
全磁悬浮转子(无接触・零磨损)
5 轴电磁悬浮控制,转子悬浮无机械接触,终生无磨损、免维护,维护周期>80,000 小时或 10,000 次启停循环。
无轴承摩擦,极限真空可达1×10⁻⁸ mbar,UHV 版(全金属密封)可达1×10⁻¹¹ mbar。
集成驱动 + 智能控制
内置高频变频器,24 VDC 低电压供电,即插即用,无需额外控制器。
接口:RS485/USB/ 数字 I/O,支持Anybus 现场总线(Profinet/EtherCAT),适配工业自动化。
自诊断 + 保护:过流、过压、过热、前级压力异常自动保护,支持远程监控。
复合涡轮转子(高抽速・高压缩比)
多级涡轮 + 复合流道设计,轻气体(H₂/He)抽速优异,氮气压缩比高达10¹⁰。
耐受微量粉尘 / 颗粒,适配镀膜、刻蚀等含颗粒制。
全磁悬浮全程无油,无油雾、无返油、无磨损碎屑,杜绝碳氢污染,满足半导体 UHV 制程要求。
极限真空比 i 系列高 1 个数量级,适配同步辐射、表面科学等超高真空场景。
5 轴磁悬浮无机械接触,终生免维护,无需换油 / 换轴承,维护成本降低 95%。
连续运行寿命>10 万小时,启停循环>10,000 次,适配 24 小时连续量产线。
磁悬浮无摩擦,振动<0.01 mm/s,比 i 系列低 5 倍,适配质谱、电镜、光刻等超高精密仪器。
噪音<38 dB(A),实验室 / 洁净室环境友好。
抽速覆盖300–3200 l/s,H₂抽速*高达 1500 l/s,解决传统泵轻气抽速低的痛点。
MAG iS(3207)抽速达3200 l/s,为 3000 l/s 级别中 ** 紧凑*轻(<60 kg)** 的磁悬浮泵。
可垂直 / 水平 / 倒置任意角度安装,适配复杂腔体布局与狭小空间。
耐受冲击性充气、微量粉尘、辐射(iR 版本),适配核物理、空间模拟等严苛环境。
半导体 / 微电子:沉积(ALD/PECVD)、刻蚀、离子注入、氦检漏、真空载具(UHV、无污染)。
分析仪器:质谱(MS)、电子显微镜(SEM/TEM)、X 射线衍射(XRD)、表面分析设备(超高真空、无油)。
真空镀膜:光学镜片、光伏电池、半导体晶圆、装饰膜(高真空稳定、无油雾、低振动)。
科研 / 实验室:同步辐射、核聚变研究、低温物理、真空测试系统(UHV、高洁净、免维护)。
工业真空:电子束焊接、真空热处理、真空封装、精密检漏(紧凑高效、免维护)。