转速:3000 rpm(50 Hz)/ 3600 rpm(60 Hz)
噪音:<67 dB(A)
密封材质:FPM(氟橡胶),耐溶剂、水汽、轻度酸碱
润滑:标准矿物油 LVO 100,可选合成油或 PFPE(全氟聚醚,LVO 400)适配防腐 / 高纯工况
认证:ATEX Cat.3i、CE、IE3 高效电机
无贯穿轴设计:电机为罐式密封结构,定子在大气侧、转子在真空侧,无直接连通大气的轴,消除轴封泄漏点,漏率<1×10⁻⁴ mbar・L/s,远优于 WA/WAU 的普通轴封Leybold 莱宝。
全封闭腔体:电机与泵体一体化密封,内部氮气保护,防外界湿气 / 粉尘侵入、防内部气体外泄,适配高洁净与有毒 / 工况。
防腐升级:泵壳防腐涂层 + 氟橡胶密封 + 可选 PFPE 润滑,耐受轻度酸碱、有机溶剂、水汽,适配化工、制药、半导体蚀刻等腐蚀场景。
罐装电机无贯穿轴,无轴封泄漏风险,系统真空更稳定,杜绝返油 / 杂质污染,适配半导体、镀膜等高洁净制程。
全密封结构可防止有毒、易燃、贵重气体外泄,提升**性与经济性。
泵腔全程无油,转子非接触运行,无油雾、无返油、无磨损碎屑,满足 ISO 7/8 级洁净室要求。
可选 PFPE 全氟润滑,无碳氢污染,适配半导体沉积、离子注入、分析仪器等超高洁净场景。
WSU:集成压差旁通阀,可大气压直接启动,无需前级预抽,适配短周期、频繁启停工况,旁通阀高压时自动开启保护电机。
WS:无旁通阀,需前级预抽至 10–100 mbar 启动,适合长周期稳定运行的高真空系统。
电机自带风扇风冷,无需冷却水、无管路维护,适配缺水 / 狭小空间,运行成本低、无漏水风险。
非接触转子无磨损件,寿命长、维护周期长(年维护 1 次);模块化设计,密封件 / 轴承可现场更换。
流向可现场切换:标配垂直流,可改为水平流,适配复杂管路与狭小空间。
支持 20–100 Hz 变频驱动,节能 30%+、智能调速适配变工况,防止高压差过载。
半导体 / 光伏:刻蚀、沉积、离子注入、载具清洗、氦检漏系统(高洁净、零泄漏)。
真空镀膜:光学镜片、光伏电池、建筑玻璃、装饰膜(高真空稳定、无油污染)。
化工 / 制药:蒸馏、结晶、干燥、脱泡、有毒 / 气体输送(气密防腐、**可靠)。
科研 / 仪器:同步辐射、质谱、电子显微镜、表面分析设备(超高洁净、高真空)。
热处理 / 冶金:真空烧结、退火、渗碳(大抽速、气密防氧化)。