测量原理：紫外 - 可见 - 近红外吸收光谱（光纤分光）。
检测方式：传感头直接夹装 PFA 管道外壁，光源 / 分光模块置于主机，光纤传输信号，非接触药液。
浓度计算：温度补偿多元校正算法，抗温度 / 气泡干扰，无需试剂。
超小型光纤传感头：传感头体积减 60%，适配设备紧凑空间；分体式设计，主机远离高温 / 腐蚀环境，可靠性更高。
三倍波长覆盖，多药液兼容：波长范围扩展，可测更多种类湿法药液，单台适配多制程，降低设备成本。
非接触，无污染无泄漏：传感头仅夹装管道外壁，不接触药液，无析出、无泄漏风险，保障高纯药液品质与制程**。
高精度与稳定性：内置参考光路，抵消光源漂移 / 环境干扰；温度补偿 + 气泡补偿算法，长期稳定，重复性≤±0.15% FS。
低维护，长寿命：LED 光源 5 年质保；每 6 个月仅需背景校准，无需更换耗材，维护成本低。
易安装，免动火：无需改造管路，直接夹装现有 PFA 管道，安装 / 拆卸便捷，减少停机时间。
半导体清洗：SC-1/SC-2、HF、HCl 等清洗液浓度实时监控。
光刻工艺：TMAH 显影液浓度 / 温度同步监测。
蚀刻制程：湿法蚀刻液（如 HF/HNO₃混合液）成分分析。
优良制程：2nm/3nm 节点高纯药液质量控制，降低缺陷率。