ULVAC/日本爱发科 罗茨干式真空泵LR系列ULVAC/日本爱发科 罗茨干式真空泵LR系列
多级罗茨结构：3～4 级罗茨转子串联，无油干式压缩，转子 / 腔体无接触。
低温均热化：泵体低温区均衡加热（＜100℃），防水汽凝结，适配惰性气体 / 轻度制程。
氦气密封 + 隔离设计：齿轮箱油与泵腔隔离，配氦气密封，* 无油污染。
ECO‑SHOCK 节能：可选节能模式，极限压力下功耗降低20%～30%。
✅ 快速排气：大气压附近抽速高，Load Lock 腔排气时间缩短30%+，提升产能。
✅ 高洁净度：无油 / 水 / 密封介质，满足半导体 / FPD 高洁净要求。
✅ 低噪可靠：内置消音器，噪音≤64dB (A)；无易损件，免维护周期长。
✅ **监控：超温 / 超压 / 漏气 / 瞬停保护（1000ms 内），支持远程通信。
半导体：PVD（溅射 / 蒸镀）、Load Lock 腔、TMP 前级泵。
FPD / 光伏：面板镀膜、硅片制程、快速排气。
科研 / 洁净室：中小型设备、实验室洁净排气。