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ULVAC/日本爱发科 多级罗茨干式真空泵
产品型号：HR300
产品品牌：ULVAC爱发科真空技术
产品介绍：

ULVAC/日本爱发科 多级罗茨干式真空泵诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁
详细介绍

ULVAC/日本爱发科 多级罗茨干式真空泵
ULVAC/日本爱发科 多级罗茨干式真空泵
ULVAC（爱发科）多级罗茨干式真空泵是一系列无油、高抽速、高洁净度的干式真空泵，通过多级罗茨转子串联实现从大气压到高真空的直接干式排气，主要分为LR、HR、GR、CR四大系列，覆盖半导体、面板、工业等多场景。

一、核心系列与定位

LR 系列（标准型）：低温均热化，适配 PVD、Load Lock 腔快速排气，主打中高抽速、洁净无油。

型号：LR60/90/180/421/600/1200/1800/3601

抽速：62~3200 m³/h；极限压力：0.1~0.67 Pa

HR 系列（高温耐腐蚀型）：高温均热化，防止 CVD / 刻蚀副产物冷凝，适配腐蚀性 / 升华性气体。

型号：HR60/90/300/600/1200

抽速：62~1200 m³/h；极限压力：≤0.1 Pa

  • GR 系列（工业通用型）：结构简化，适配大气反复抽气、高负荷工业场景。

    • 型号：GR60A/90A/180A

    • 抽速：62~237 m³/h；极限压力：5 Pa

  • CR 系列（空冷紧凑型）：空冷设计、体积小，获 CE/cTUVus 认证，适配中小型设备、洁净室。

    • 型号：CR300B

    • 抽速：300 m³/h；极限压力：≤0.5 Pa；功率：3 kW

二、工作原理与结构

  • 多级罗茨转子：2~4 级罗茨转子串联，无油干式压缩，转子与腔体无接触。

  • 泵体均热化（LR/HR 核心）：

    • LR：低温均衡加热，避免水汽凝结，适配 PVD/Load Lock。

    • HR：高温均衡加热（*高 150℃），让 CVD / 刻蚀副产物保持气态排出，防止沉积。

  • 密封与隔离：齿轮箱润滑油与泵腔隔离，配氦气密封，杜绝油污染。

三、关键技术参数（主力机型）


系列型号抽速 (m³/h,60Hz)极限压力 (Pa)冷却方式重量 (kg)
LRLR180017840.67水冷553
HRHR600600≤0.1水冷320
GRGR180A2375水冷268
CRCR300B300≤0.5空冷100

四、核心优势

  1. * 洁净无油：泵腔无油 / 水，避免油返流污染，满足半导体 / 面板高洁净要求。

  2. 高抽速 + 快速排气：大气压附近抽速高，Load Lock 腔排气时间缩短30%+，提升产能。

  3. 高温防沉积（HR）：高温均热化防止副产物冷凝，适配 CVD / 刻蚀等严苛工艺。

  4. 高耐腐蚀：关键部件特殊表面处理，耐受 HF、Cl₂等腐蚀性气体。

  5. 低运维成本：无易损件，免维护周期长；可选 ECO-SHOCK 节能，功耗降低20%~30%。

  6. 全**设计：超温 / 超压 / 漏气 / 瞬停保护（1000ms 内），支持远程通信监控。

五、典型应用场景

  • 半导体：CVD、刻蚀、PVD、Load Lock 腔、TMP 前级泵（HR/LR）。

  • 面板 / 光伏：FPD 镀膜、硅片制程、快速排气（LR）。

  • 工业制程：真空干燥、脱泡、热处理、气体置换（GR）。

  • 科研 / 洁净室：中小型设备、实验室、无废水场景（CR）。

六、选型建议

  • 洁净 PVD/Load Lock → LR 系列

  • CVD / 刻蚀 / 腐蚀性气体 → HR 系列

  • 工业高负荷 / 反复抽气 → GR 系列

  • 空冷 / 紧凑 / 洁净室 → CR 系列