日本Osaka Vacuum大阪真空 紧凑型 DSP 系列
日本Osaka Vacuum大阪真空 紧凑型 DSP 系列
大阪真空 紧凑型 DSP 系列（DSP251/DSP501）是空冷无油螺杆干泵，主打超紧凑、便携、免维护、低噪震、洁净排气，适配科研、分析仪器与中小腔体洁净制程株式会社大阪真空机器制作所。

一、型号与定位

• 型号：DSP251（小流量）、DSP501（中流量）；旧款 DSP50/DSP250/DSP500（逐步退市）。

• 类型：无同步齿轮螺杆干泵，真空侧无油。

• 用途：TG/TG‑M/TGkine 分子泵前级、负载锁 / 传输腔粗抽、SEM / 分析仪器、医疗设备、小型镀膜。

• 核心优势：空冷免水、0.5Pa 极限真空、免维护、60kg 轻量化、低噪震。

二、关键技术参数

三、核心特点

1. 无油洁净 + 免维护：无同步齿轮设计，真空侧无油污染；无需润滑油 / 密封件更换，终身免维护。

2. 超紧凑便携：占地 0.11㎡、重 52–60kg，自带把手，可任意姿态安装（水平 / 垂直）。

3. 空冷高效 + 低噪震：全空冷免冷却水，即插即用；螺杆转子无排气脉冲，噪音≤60dB，震动极低。

4. 高速粗抽 + 耐水汽：内置旁通阀，大气压附近抽速快；标配气镇，可处理含水汽制程。

5. 国际合规：符合CE、SEMI、NRTL标准，适配*科研与工业场景。

四、典型应用

• 科研 / 分析：SEM（扫描电镜）、XPS / 表面分析、质谱、小型真空腔体、加速器 / 离子源 / 电子枪排气。

• 半导体 / 镀膜：TG 系列分子泵前级、负载锁 / 传输腔粗抽、小型 PVD / 镀膜机。

• 医疗 / 制药：真空干燥、冷冻干燥、**设备、医疗仪器排气。

• 一般工业：真空脱气、检漏设备、实验室真空系统。