日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨
日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨

• 型号：ER100DC（耐腐蚀型，适配氟 / 氯 / 酸碱等腐蚀气体）；对应标准型 ER100D。

• 类型：多级罗茨干泵，真空侧无油（轴承 / 齿轮用专用耐蚀油80 mL）。

• 用途：TG/TG‑M/TGkine 分子泵前级、腐蚀气体负载锁 / 传输腔粗抽、洁净 + 腐蚀制程排气。

• 核心优势：防腐材质 + 节能 400W + 超紧凑 60kg + 水冷高效。

二、关键技术参数

三、核心特点

1. 强耐腐蚀：ER100DC 专属防腐设计，密封 / 材质适配氟气、氯气、酸碱蒸汽等轻度腐蚀气体，延长腐蚀工况寿命。

2. 节能：独特转子 + 怠速功能，极限压力仅 400W，比同级防腐干泵省电 30–50%。

3. 超紧凑轻量化：占地 0.11㎡、重 60kg，任意安装姿态（水平 / 垂直），适配狭小空间与设备集成。

4. 洁净无油 + 耐水汽：真空侧无油污染；气镇500 g/h，适合冻干、干燥等含水汽腐蚀制程。

5. 常压连续运行：可从大气压直接启动，抗大气冲击，适合频繁启停与粗抽场景。

四、典型应用

• 半导体 / 镀膜：TG 系列分子泵前级、PVD/CVD 腐蚀制程负载锁、传输腔、离子源 / 电子枪排气。

• 化工 / 制药：腐蚀气体真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、反应釜排气。

• 科研 / 分析：电子显微镜（SEM）、表面分析（XPS）、小型腐蚀真空腔体、加速器设备。

• 特殊制程：含氟 / 氯 / 酸碱蒸汽排气（ER100DC 专属适配）。