日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨
日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨

一、型号与定位

• 型号：ER100D（标准型，非腐蚀气体）；ER100DC（耐腐蚀型，含氟 / 氯气体）。

• 类型：多级罗茨干泵，真空侧无油（仅轴承 / 齿轮 80 mL 润滑）。

• 用途：TG/TG‑M/TGkine 分子泵前级、负载锁 / 传输腔粗抽、中小腔体洁净排气。

• 核心优势：极限功耗 400W（同级）、占地 0.11㎡、重量 60kg、水冷高效。

二、关键技术参数

三、核心特点

1. 节能：独特转子 + 空转功能，极限压力仅 400W，比同级干泵省电 30–50%。

2. 超紧凑轻量化：占地 0.11㎡、重 60kg，任意安装姿态（水平 / 垂直），适配狭小空间。

3. 洁净无油 + 耐水汽：真空侧无油污染；气镇500 g/h，适合冻干、干燥等含水汽制程。

4. 常压连续运行：可从大气压直接启动，抗大气冲击，适合频繁启停与粗抽场景。

5. 低维护 + 长寿命：轴承 / 齿轮润滑少（80 mL），维护周期长；ER100DC适配腐蚀气体制程。

四、典型应用

• 半导体 / 真空设备：TG 系列 / TG‑M/TGkine 分子泵前级、PVD/CVD 负载锁、传输腔、离子源 / 电子枪排气。

• 工业真空：光学镀膜、真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、检漏设备。

• 科研 / 分析：电子显微镜（SEM）、表面分析（XPS）、小型真空腔体、加速器设备。

• 特殊制程：轻度腐蚀气体排气（选 ER100DC 耐腐蚀型）。