大阪真空Osaka Vacuum 优势品牌
大阪真空Osaka Vacuum 优势品牌
大阪真空 OSAKA TG2400M 磁悬浮涡轮分子泵
TG2400M 是日本大阪真空（OSAKA VACUUM）TG‑MI 系列旗舰型磁悬浮涡轮分子泵，主打超高真空、大抽速、无油洁净、磁悬浮无磨损，面向半导体、镀膜、分析设备与科研等高真空场景。
一、核心特点
超大抽速 + 超高真空：氮气抽速 2400 L/s（144 m³/h），极限压力 ＜1×10⁻⁶ Pa，满足高真空 / 超高真空需求。
磁悬浮无油轴承：5 轴主动磁悬浮，无接触、无磨损、零振动、零油污染，寿命超 10 万小时，免维护。
高压缩比：氮气*大压缩比 1×10⁸，氢气 1.4×10³，适配轻气与复杂气体工况。
紧凑轻量化：仅 45 kg（ISO‑B 版），支持任意角度安装，节省空间易集成。
快速启停 + 节能：启动 / 停止各 4–5 min；高速 33,600 rpm，低功耗，适配 24/7 连续运行。
水冷 / 风冷可选：标准水冷（WB）、风冷（AB）可选，适配不同散热需求。
智能控制 + **认证：标配控制器 TC010MB，RS232C 远程监控；符合 SEMI‑S2、CE、NRTL，半导体产线合规。
二、技术参数（概要）
| 项目 | 参数 |
|---|
| 抽气速度（N₂） | 2400 L/s（带保护网 2300 L/s） |
| 抽气速度（H₂） | 1100 L/s |
| 极限压力 | ＜1×10⁻⁶ Pa（7.5×10⁻⁹ Torr） |
| *大压缩比（N₂） | 1×10⁸ |
| *大气体流量（N₂） | 3000 sccm |
| 转速 | 33,600 rpm |
| 启动 / 停止时间 | 4–5 min / 4–5 min |
| 进气法兰 | VG250 / ISO‑B250 |
| 冷却方式 | 水冷（WB）/ 风冷（AB） |
| 重量 | 45 kg（ISO‑B）；54 kg（CF / 防腐 C 版） |
| 轴承 | 5 轴主动磁悬浮（无油） |
| 控制器 | TC010MB（RS232C） |
三、典型应用
半导体：CVD、PVD、刻蚀、离子注入、晶圆检测、超高真空腔体。
光学 / 镀膜：真空镀膜、溅射、蒸镀、光学元件真空处理、FPD 制造。
分析 / 科研：质谱、电子显微镜、同步辐射、核聚变研究、高能物理实验。
电子 / 精密制造：电子枪排气、电离源、表面改性、热处理、灯具 / 光学元件生产。