ULVAC爱发科  代理品牌
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ULVAC 爱发科 CR30B 干式真空泵

一、核心特点

• 全无油洁净：泵头无油、转子非接触运转，零油污染、无粉尘，极限真空≈2 Pa（无气镇），适配高洁净工艺。

• 空冷免水设计：强制风冷，无需冷却水 / 氮气吹扫，即插即用、安装简单、无漏水风险。

• 强耐水蒸气：标配气镇，*大水蒸气处理量 **＜500 g/h**，适合真空干燥、溶剂脱除等潮湿工况。

• 小巧高效低噪：整机仅48 kg、尺寸紧凑（约 521×240×244 mm），噪音低、功耗 1.5 kW，适合移动 / 集成。

• 长寿命易维护：非接触转子无磨损、无密封件更换，维护周期长、运行成本低。

二、技术参数（概要）

三、典型应用

• 半导体 / 电子：晶圆干燥、等离子清洗、封装测试、真空腔体抽空。

• 光学 / 镀膜：真空镀膜、溅射、蒸镀、光学元件真空处理。

• 医药 / 生物：真空干燥、冷冻干燥、蒸馏浓缩、无菌包装。

• 化工 / 新材料：溶剂脱除、反应釜真空、精馏除气、锂电池 / 光伏制造。

• 科研 / 实验室：质谱、电子显微镜、真空腔体、通用高真空系统。