日本进口PILLAR皮拉风囊泵专用控制器PB-12：

日本 PILLAR（皮拉）是一家拥有百年历史的流体制控专业制造商，1924 年创立于大阪，*初以船用发动机的防漏“皮拉密封垫”起家，现已发展为在东京证券交易所 Prime 市场上市（代码 6490）的集团企业，核心业务涵盖半导体、液晶及一般工业领域的氟树脂阀门/接头、风囊泵、机械密封等产品，尤其在半导体清洗设备用氟树脂接头领域占据全球约 90% 的份额 。

PB-12 是日本 PILLAR 原厂配套波纹管 / 风囊泵（Bellows Pump）的冲程控制器，多用于半导体、FPD 行业高洁净酸碱药液输送、清洗循环管路，用来控制皮拉 PE 系列风囊泵，调节冲程频率从而精准控制药液流量，同时做泵体监测、报警与上位机通讯。

PILLAR皮拉风囊泵专用控制器PB-12核心功能：

1. 泵启停 + 流量调节：控制风囊泵启停，通过调整往复冲程次数（strokes/min）调节流量；面板本地设定，也支持 RS232 上位机远程设定流量参数。

2. 3 组工艺配方存储：内置 3 套流量参数记忆，可一键切换不同药液工艺，适配多工序产线。

3. 泄漏检测：内置渗漏监测回路，20kΩ 以下检出泄漏，触发报警，可联动停机，保护湿法设备免受药液腐蚀损坏。

4. 波纹管寿命预警：累计统计总冲程次数，预判风囊老化程度，实现预防性维护，避免突发破膜漏液。

5. LCD 状态显示：屏幕实时展示冲程速率、瞬时流量、累计冲程、故障报警代码。

6. 报警输出：流量异常、泄漏、通讯超时、寿命预警等故障信号，可输出给产线 PLC。

7. 断电数据保存：内置 EEPROM，参数、冲程记录可保存约10 年，掉电不丢失。

PILLAR皮拉风囊泵专用控制器PB-12适用行业与场景：

半导体晶圆湿法清洗、刻蚀药液供给、FPD 面板清洗设备，输送 HF、H2SO4、氨水等强腐蚀高纯药液循环管线；仅配套 PILLAR 皮拉波纹管风囊泵使用，不兼容其他品牌泵。

PILLAR皮拉风囊泵专用控制器PB-12工作原理：

PB-12 输出驱动信号控制风囊泵气动电磁阀，改变泵往复运动频率；流量与冲程次数成正比；同步采集泵体上的漏液传感器、冲程反馈信号，实时运算，异常时输出报警触点与通讯信息给上位机 PLC 系统。

补充要点：

- 面板式机柜安装，属于半导体设备标准控制器；

- 通讯接口 RS232，用于设备上位机对接；

- 泄漏检测是该控制器的核心**功能，是湿法药液回路重要防护。