日本进口PILLAR皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列

日本 PILLAR（皮拉，原日本皮拉工业）创立于 1924 年，是东京证交所上市的百年流体制御与密封技术专业厂商，依托氟树脂成型、精密密封核心技术，深耕半导体、FPD 面板、化工等领域，主打高洁净波纹管风囊泵、配套控制器（如 PB-12）、密封件等产品，其高纯耐腐蚀药液输送泵在湿法制程行业应用广泛，在全球多地设有分支机构，可为精密制程提供高可靠的流体输送与**监测整套解决方案。

PILLAR皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列核心原理：

气动驱动波纹管往复输送药液；泵体内部集成蓄压结构，依靠独特机械结构抵消往复泵天然的流量脉动，不需要外接蓄能器，单机即可实现低脉动输出，简化管路、减少水锤、震动与管路应力。

PILLAR皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列核心特点：

1. 内置蓄压，超低脉动

自带蓄压功能，省去外置蓄能罐，节省设备柜内空间，降低配套成本；流量输出平稳，减少压力冲击，保护过滤器、流量计、阀件，提升药液工艺均匀性。

2. 全氟接液，高耐蚀 + 高洁净

所有接触液体部件：PFA、PTFE，可输送强腐蚀高纯药液（稀 HF、硫酸、SC1/SC2、显影液、蚀刻液等）；无尘车间生产，低析出、低颗粒，满足半导体湿制程洁净要求。

3. 气动驱动，无电机 / 无轴封泄漏

纯气动波纹管结构，无动密封点，不会出现轴封漏液；适合易燃易爆、强腐蚀高纯药液工况。

4. 稳定流量特性

在较高吐出压力下依然能维持稳定流量，对比老款 PS 系列，高压工况流量保持能力进一步优化。

5. 配套控制系统

可搭配专用控制基板 PB-13、PRS-AS1 应用组件，实现启停、冲程调节、状态监控。

PILLAR皮拉新型低脉动风囊泵PRS系列主要应用场景：
该泵主要面向对纯度和流量稳定性要求极高的制程：
半导体湿法清洗：晶圆清洗（如SC1、SC2、稀HF、浓硫酸等）药液的循环与供给。
化学品供应系统（CDS）：作为供应柜内的主泵或循环泵。
液晶/平板显示制造：面板清洗、显影、蚀刻、剥离等工序的高纯药液输送。