日本进口PILLAR皮拉药液补充用定量泵PW系列
PILLAR(株式会社PILLAR,旧称日本ピラー工業,中文品牌名“铍乐”)是一家创立于1924年、总部位于日本大阪的东证Prime上市企业,2024年迎来创业百年并启用现商号。公司定位为流体制御机器制造商,以密封技术与材料技术为核心,主要业务包括半导体、液晶、医疗等领域用氟树脂接头/管件/泵等电子机器关联产品,以及机械密封、填料密封、垫片等产业机器关联产品。其在半导体设备清洗零部件领域研发能力居日本**,全球市场占有率约90%,业内称为“PILLAR标准”;在中国高铁缓冲及密封产品市场约占70%。
PILLAR皮拉药液补充用定量泵PW系列主要特点: 高精度定量吐出: PW系列通过结构设计解决了吐出后的滴漏问题,并采用了能防止虹吸现象的新型阀门机构,从而实现了 ±1% 的重复精度。这意味着每次补充的药液量高度一致,适合对浓度稳定性要求严格的制程。 全氟树脂接液,无金属污染: 所有接触药液的部件均由 PFA、PTFE 制成,具备高耐化学腐蚀性和洁净度,不会向药液中析出金属离子或产生污染。 冲程速度可调,灵活控制流量: 虽然单次吐出量固定,但可以通过调节冲程速度(4 ~ 40 spm)来改变单位时间内的总补充量,实现较大范围的浓度管理。 PILLAR皮拉药液补充用定量泵PW系列主要应用场景: 官方定位为药液供给装置和清洗装置的药液补充用。具体包括: 半导体湿法工艺:向药液槽或循环系统中定量补充消耗掉的化学试剂(如清洗液、蚀刻液、显影液等),维持浓度稳定。 高纯化学品分装:利用其高定量精度进行小剂量的电子级化学品分装。