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日本进口PILLAR皮拉药液补充用定量泵
产品型号:PW系列
产品品牌:PILLAR皮拉
产品介绍:

日本PILLAR(皮拉)PW系列是一款专为药液补充设计的气动定量风囊泵。它的核心价值在于极高的重复吐出精度,而非大流量输送,适合需要**控制化学试剂添加量的半导体湿法工艺或清洗系统。

详细介绍

日本进口PILLAR皮拉药液补充用定量泵PW系列



PILLAR(株式会社PILLAR,旧称日本ピラー工業,中文品牌名“铍乐”)是一家创立于1924年、总部位于日本大阪的东证Prime上市企业,2024年迎来创业百年并启用现商号。公司定位为流体制御机器制造商,以密封技术与材料技术为核心,主要业务包括半导体、液晶、医疗等领域用氟树脂接头/管件/泵等电子机器关联产品,以及机械密封、填料密封、垫片等产业机器关联产品。其在半导体设备清洗零部件领域研发能力居日本**,全球市场占有率约90%,业内称为“PILLAR标准”;在中国高铁缓冲及密封产品市场约占70%。


PILLAR皮拉药液补充用定量泵PW系列主要特点:
高精度定量吐出:
PW系列通过结构设计解决了吐出后的滴漏问题,并采用了能防止虹吸现象的新型阀门机构,从而实现了 ±1% 的重复精度。这意味着每次补充的药液量高度一致,适合对浓度稳定性要求严格的制程。
全氟树脂接液,无金属污染:
所有接触药液的部件均由 PFA、PTFE 制成,具备高耐化学腐蚀性和洁净度,不会向药液中析出金属离子或产生污染。
冲程速度可调,灵活控制流量:
虽然单次吐出量固定,但可以通过调节冲程速度(4 ~ 40 spm)来改变单位时间内的总补充量,实现较大范围的浓度管理。

PILLAR皮拉药液补充用定量泵PW系列主要应用场景:
官方定位为药液供给装置和清洗装置的药液补充用。具体包括:
半导体湿法工艺:向药液槽或循环系统中定量补充消耗掉的化学试剂(如清洗液、蚀刻液、显影液等),维持浓度稳定。
高纯化学品分装:利用其高定量精度进行小剂量的电子级化学品分装。