PILLAR皮拉SUPER FLARE TYPE PILLARFITTING™三通扩口型氟树脂接头T-UT系列
日本 PILLAR(皮拉,原日本皮拉工业)创立于 1924 年,是东京证交所上市的百年流体制御与密封技术专业厂商,依托氟树脂成型、精密密封核心技术,深耕半导体、FPD 面板、化工等领域,主打高洁净波纹管风囊泵、配套控制器(如 PB-12)、密封件等产品,其高纯耐腐蚀药液输送泵在湿法制程行业应用广泛,在全球多地设有分支机构,可为精密制程提供高可靠的流体输送与**监测整套解决方案。
T-UT 属于 PILLAR Super Flare(扩口式) 系列三通 union tee(活接三通),专为 PFA/PTFE 高纯管路开发,是半导体、FPD 湿法工艺里的高纯流体分配三通接头,依靠扩口密封结构实现无垫片、无死角的流体管路三通分支连接,区别于 SUPER300 压入式 P 系列接头。
PILLAR皮拉三通扩口型氟树脂接头T-UT系列结构与材质: - 主体材质:PFA(全氟烷氧基树脂),螺母、套筒配套 PFA/PTFE 部件,全氟树脂接触流体,无金属析出风险 - 组成:三通本体 + 扩口套筒 + 活接螺母;采用管路扩口成型密封,不需要单独密封圈,减少污染点 - 连接形式:两端 + 侧支三路均为扩口 活接,可单独拆装任意一路,检修时无需拆整段管路 PILLAR皮拉三通扩口型氟树脂接头T-UT系列核心特点: 1. 超高洁净度:一体氟树脂材质,内壁光滑低析出、低离子溶出,满足半导体超高纯化学品输送,几乎无微粒产生 2. 强耐化学腐蚀:耐强酸、强碱、各类溶剂、双氧水、光刻配套药液,适配大部分湿法药液 3. 扩口密封可靠:管材扩口后压紧密封,抗蠕变,在温度循环下依旧保持密封,不易渗漏 4. 流道平滑无死区:内部流道过渡顺滑,药液不易滞留,减少结晶、颗粒堆积 5. 拆装维护便捷:活接式结构,单端可单独拆卸,方便管路改造、清洗、更换部件;装配需要 PILLAR 专用扩口工具对 PFA 管扩口加工 6. 防静电可选:可选用导电型 PFA 材质版本,用于需要防静电、防止静电击穿的高纯药液管路
PILLAR皮拉三通扩口型氟树脂接头T-UT系列应用场景: 半导体晶圆湿法清洗、蚀刻、CMP 后清洗;FPD 液晶面板制程;锂电池高纯电解液输送;医药精细化工高纯试剂输送等对洁净度、耐腐蚀性有严苛要求的流体管路,用于管路一进两出的药液分配。