日本PILLAR皮拉HEMTM模块型多管式热交换器

PILLAR（株式会社PILLAR，旧称日本ピラー工業，中文品牌名“铍乐”）是一家创立于1924年、总部位于日本大阪的东证Prime上市企业，2024年迎来创业百年并启用现商号。公司定位为流体制御机器制造商，以密封技术与材料技术为核心，主要业务包括半导体、液晶、医疗等领域用氟树脂接头/管件/泵等电子机器关联产品，以及机械密封、填料密封、垫片等产业机器关联产品。其在半导体设备清洗零部件领域研发能力居日本**，全球市场占有率约90%，业内称为“PILLAR标准”；在中国高铁缓冲及密封产品市场约占70%。2024年3月期合并销售额约586亿日元，集团在全球多国设有据点，中国地区**生产基地位于安徽滁州。

日本PILLAR（皮拉）的 HEM™ 模块型多管式热交换器，是其 PILAFLON™ 氟树脂产品线中的一款壳管式换热设备。它专门为半导体、FPD（平板显示）等行业的大流量、高纯腐蚀性 药液恒温工艺开发，核心思路是利用全氟树脂材质实现高洁净度，同时通过多管束结构保证换热效率。

日本PILLAR皮拉HEMTM模块型多管式热交换器结构原理：

U 型管束芯：采用多根 PFA 细管弯折成 U 型，工艺药液在管内流动，温控介质（冷却水/热水）在壳程逆流，通过管壁间接换热。

全氟树脂接液：所有接触药液的部分（PFA 管束、接头）均为氟树脂材质，壳体（PVC/PP）不接触药液，从根源上避免金属离子析出污染。

无 O 形圈密封：接头通过熔融 bonding 制成，不使用 O 形圈，消除了橡胶析出物对高纯药液的影响。

标准接口：标配 PILLAR Super 300 Type 入珠式 PFA 接头，可直接对接同品牌管路、阀件，现场无需热焊接。

日本PILLAR皮拉HEMTM模块型多管式热交换器核心特点：

1. 超高洁净 + 强耐腐：接液全部为 PILAFLON™ PFA 氟树脂，金属离子溶出极低，可耐受氢氟酸、硫酸、显影液、蚀刻液等各类高纯强腐蚀药液，避免污染晶圆 / 基板。

2. 换热效率高，适配大流量：多细管束大幅增加换热面积，适合湿法槽体主循环大流量恒温工况，可兼顾药液冷却、加热双向控温。

3. CIP 可清洗，死角少：流道无死区，支持在线清洗，减少药液残留与微粒附着。

4. 模块化易维护：U 型管束可单独取出检修、更换，无需整台设备拆除。

日本PILLAR皮拉HEMTM模块型多管式热交换器应用场景：

半导体晶圆湿法清洗、刻蚀，FPD 面板湿法制程等高纯药液恒温循环回路，和前面 PB-12 控制器 + PE 系列皮拉风囊泵是同系统配套设备。