日本PILLAR皮拉PILAFLON™ HEMTW W型多管式热交换器

日本 PILLAR（皮拉，原日本皮拉工业）创立于 1924 年，是东京证交所上市的百年流体制御与密封技术专业厂商，依托氟树脂成型、精密密封核心技术，深耕半导体、FPD 面板、化工等领域，主打高洁净波纹管风囊泵、配套控制器（如 PB-12）、密封件等产品，其高纯耐腐蚀药液输送泵在湿法制程行业应用广泛，在全球多地设有分支机构，可为精密制程提供高可靠的流体输送与**监测整套解决方案。

HEMTW 是日本 PILLAR（皮拉）PILAFLON™系列W 型 PFA 多管束壳管式热交换器，专门面向半导体、FPD、PCB 湿法高纯腐蚀药液恒温，和 HEMTM（U 型）为同系列姊妹款，HEMTW 采用 W 弯折管束，主打狭小安装空间工况。

PILLAR皮拉PILAFLON™ HEMTW W型多管式热交换器结构与工作原理：

多根 PFA 细管束弯折成 W 形态，工艺药液走 PFA 管束内部（管程）；壳体（PP/PVC 材质，不接触药液）壳侧通入冷却水 / 热水 / 乙二醇温控介质，采用逆流换热，冷热介质完全隔离，依靠 PFA 管壁传导热量，实现药液加热或冷却。

管束配置分隔片，防止管束相互贴靠重叠，保障换热均匀；两端标配 PILLAR 原厂 SUPER300 入珠式 PFA 接头，可直接对接皮拉 PFA 管路、阀件、风囊泵，现场免热焊装配。

>和 HEMTM 核心区别：HEMTM=U 型管束，模块可抽出，适合大槽主循环；HEMTW=W 型弯折管束，同等体积换热行程更长，适合安装空间紧凑的设备腔体内置。

PILLAR皮拉PILAFLON™ HEMTW W型多管式热交换器核心产品特点：

1. W 型紧凑结构：W 形弯折设计，在有限安装高度 / 空间内实现更长换热管路，同等外形尺寸下换热面积更大，适配湿法设备腔体内部狭小空间安装。

2. 超高洁净，无 O 圈析出：所有接液部分为 PILAFLON™ PFA 氟树脂；接头采用熔融一体粘接，无 O 形圈，杜绝密封圈溶出杂质，金属离子析出极低，保护晶圆 / 基板良率。

3. 超强耐化学腐蚀：耐受氢氟酸、硫酸、硝酸、显影液、蚀刻液等各类强腐蚀高纯药液。

4. 流道无死角，支持 CIP 清洗：光滑 PFA 内壁，药液残留少，不易附着微粒，可在线清洗，降低颗粒污染风险。

5. 换热稳定可靠：管束分隔片结构，避免管束贴壁，保障整体传热系数稳定（300~750kJ/m²・hr・℃）。

PILLAR皮拉PILAFLON™ HEMTW W型多管式热交换器典型应用场景：

半导体晶圆湿法清洗、刻蚀、剥离；FPD 液晶面板清洗；PCB 线路板蚀刻、显影槽；光伏高纯化学品温控回路；常和 PILLAR PE 风囊泵、PB-12 控制器配套组成完整药液循环恒温系统。