日本进口PILLAR皮拉管套型热交换器HEN系列

日本 PILLAR（皮拉）是一家拥有百年历史的流体制控专业制造商，1924 年创立于大阪，*初以船用发动机的防漏“皮拉密封垫”起家，现已发展为在东京证券交易所 Prime 市场上市（代码 6490）的集团企业，核心业务涵盖半导体、液晶及一般工业领域的氟树脂阀门/接头、风囊泵、机械密封等产品，尤其在半导体清洗设备用氟树脂接头领域占据全球约 90% 的份额 。

HEN 系列是 PILLAR 皮拉套管盘管型高纯氟树脂热交换器，定位小流量药液恒温，和 HEMTM（U 型多管）、HEMTW（W 型多管）同属 PILAFLON™产品线，专门用于半导体、FPD 湿法设备支路小流量回路。
日本进口PILLAR皮拉管套型热交换器HEN系列结构与工作原理：
采用套管盘管结构：内部为 PFA 螺旋盘管，工艺药液走 PFA 盘管内部；外层套管腔体通入冷却水 / 热水 / 乙二醇温控介质，冷热介质逆流换热，管壁隔离药液与温控水。
- 接液全部是 PILAFLON™ PFA 材质；两端采用熔融一体成型结构，无 O 型圈密封，杜绝密封圈溶出污染；
- 标配原厂 SUPER300 入珠式 PFA 接头，无需热焊，直接对接皮拉风囊泵、PFA 管路阀件，整套系统保持高纯特性。

日本进口PILLAR皮拉管套型热交换器HEN系列核心产品特点：
1. 超高洁净，低离子析出
接液全 PFA，无橡胶密封圈，金属离子溶出极低，不会污染晶圆、玻璃基板；PFA 内壁不易粘附颗粒，适合高纯酸碱、蚀刻液、显影液。
2. 优异耐化学腐蚀
可耐受氢氟酸、硫酸、硝酸、氨水等各类强腐蚀性湿法化学品。
3. 结构紧凑、安装灵活
圆筒式小巧外形，可直接安装在设备腔体内，占用空间小，适合支路小流量控温场景。
4. 流道光滑死角少
连续 PFA 盘管，无凹凸死区，药液残留少，支持 CIP 在线清洗，降低微粒堆积风险。
5. 无泄漏风险
盘管一体成型，无 O 圈老化渗漏隐患，湿法设备防止药液泄漏腐蚀设备。
日本进口PILLAR皮拉管套型热交换器HEN系列典型应用场景：半导体晶圆清洗支路、单片清洗设备、FPD 面板喷淋回路、小型药液循环副回路；常搭配 PILLAR PE 风囊泵 + PB-12 控制器组成小型药液恒温循环系统。