日本进口PILLAR皮拉风囊泵脉压调节器PA系列

日本 PILLAR（皮拉，原日本皮拉工业）创立于 1924 年，是东京证交所上市的百年流体制御与密封技术专业厂商，依托氟树脂成型、精密密封核心技术，深耕半导体、FPD 面板、化工等领域，主打高洁净波纹管风囊泵、配套控制器（如 PB-12）、密封件等产品，其高纯耐腐蚀药液输送泵在湿法制程行业应用广泛，在全球多地设有分支机构，可为精密制程提供高可靠的流体输送与**监测整套解决方案。

PA 系列是 PILLAR 皮拉配套 PE/PK 系列风囊泵专用的氟树脂自动脉压调节器（脉动缓冲蓄能器），专门消除波纹管风囊泵往复排液带来的周期性流量、压力脉动，稳定湿法药液管路压力，属于皮拉整套 PILAFLON 高纯流体系统核心配套部件，和 PB-12 控制器、PFA 管路、HEN/HEMTM 换热器配套使用。
PILLAR皮拉风囊泵脉压调节器PA系列工作原理：
内部采用PFA 柔性风囊膜片，一侧接触工艺药液，另一侧接入控制压缩空气；依靠空气可压缩特性，气动自动压力追踪补偿。风囊泵排出压力升高时，压缩空气侧吸收体积缓冲；泵吸液压力下降时，空气推动风囊补偿排出药液，自动抵消泵的往复脉动，将锯齿波动的脉动流转化为平稳连续流体，降低管路压力波动。
> 区别于普通固定预充压力脉动缓冲器：PA 是动态自动补偿，无需人工反复预调压力，跟随泵运行工况自动稳压。

PILLAR皮拉风囊泵脉压调节器PA系列核心产品特点：
1. 全接液高纯耐腐
接液材质为 PFA+PTFE，无橡胶 O 圈，金属离子析出极低，耐受 HF、硫酸、显影液、蚀刻液等强腐蚀高纯化学品，不会污染晶圆 / 基板。
2. 自动压力补偿，脉动抑制效果优异
自动追踪管路压力变化，可将管路脉动率降至 5% 以内；稳定下游药液流量，保证喷淋、槽体循环工艺一致性，避免压力波动造成的颗粒、工艺良率波动。
3. 无死区结构，排空性佳
特殊风囊朝下结构，停机时管路药液可完全排空，无药液滞留死角，防止药液结晶、微粒堆积，满足半导体湿法 CIP 清洗要求。
4. 专用匹配皮拉风囊泵
型号与 PE、PK 系列风囊泵一一对应选型，进出口直接集成SUPER300 P 系列 PFA 入珠接头，无需额外转接头，和皮拉 PFA 管路无缝对接。
5. R 型加厚氟树脂风囊
抗疲劳设计，长寿命，适配高温药液工况，减少备件更换频次。
PILLAR皮拉风囊泵脉压调节器PA系列典型应用场景：
半导体晶圆湿法清洗、刻蚀、剥离，FPD 液晶面板湿法制程药液供给与循环管路；安装在风囊泵出口后端，消除泵往复运动产生的压力脉动，稳定槽体循环、喷淋管路流量，保护后端热交换器、PFA 管路、精密喷嘴。