国内代理PILLAR皮拉流量调节阀PCAP系列
日本 PILLAR(皮拉,原日本皮拉工业)创立于 1924 年,是东京证交所上市的百年流体制御与密封技术专业厂商,依托氟树脂成型、精密密封核心技术,深耕半导体、FPD 面板、化工等领域,主打高洁净波纹管风囊泵、配套控制器(如 PB-12)、密封件等产品,其高纯耐腐蚀药液输送泵在湿法制程行业应用广泛,在全球多地设有分支机构,可为精密制程提供高可靠的流体输送与**监测整套解决方案。
PCAP 系列是 PILLAR 皮拉角式手动 PFA 精密针型流量调节阀,阀体两端集成 SUPER300 P 系列入珠接头,属于 PILAFLON™高纯氟树脂阀门,用于半导体 / FPD 湿法管路小流量药液无级微调,常搭配 PE 风囊泵、PA 脉压调节器、PSV 截止阀、PGB 止回阀整套 PFA 流体系统配套使用。 PILLAR皮拉流量调节阀PCAP系列工作原理: 角式 90° 针阀结构,顶部带**带刻度锁止手轮;旋转手轮带动 PTFE 锥形针阀上下移动,改变阀口流通截面积,通过调节液阻来控制管路药液流量,属于节流式微调阀。 手轮带刻度标记,便于重复设定流量;调好流量后可锁紧手轮,防止振动造成开度漂移。 > 接液内部无弹簧、无金属零件,规避金属溶出、弹簧腐蚀微粒脱落问题。 PILLAR皮拉流量调节阀PCAP系列核心产品特点: 1. 全接液高纯耐腐 阀体 PFA,调节针 PTFE,无橡胶 O 圈;可耐受 HF 氢氟酸、硫酸、SC 清洗液、显影液、蚀刻液等强腐蚀化学品,金属离子析出极低,不会污染晶圆与基板。 2. SUPER300 一体化接头 阀体直接集成 SUPER300 入珠接头,直接对接 PILAFLON™ PFA 管材,免热焊、现场快速拆装,减少管路泄漏点,与整套皮拉管路完全匹配。 3. 微量精密流量调节 CV 值仅 0.026,适合小流量、微流量支路精细调节;手轮刻度,开度可复现,满足喷淋、分液支路的稳定流量控制需求。 4. 90° 角式紧凑结构 进出口呈直角,管路转向与流量调节一步完成,节省设备腔体内狭小安装空间。 5. 低死角流道 内部流道平滑,停机药液排空性好,减少药液结晶、微粒附着,支持 CIP 在线清洗。
PILLAR皮拉流量调节阀PCAP系列典型应用场景: 半导体单片清洗、槽体喷淋支路、FPD 面板湿法喷淋管路、药液分液副回路;安装在喷嘴前端、支路管道上,用来精准控制喷淋药液流量。 > 注意:PCAP 是节流调节阀,不能作为关断阀;如需切断管路,前端要搭配 PSV 手动截止阀。