PILLAR皮拉PILAFLON™手动排气阀

日本 PILLAR（皮拉）是一家拥有百年历史的流体制控专业制造商，1924 年创立于大阪，*初以船用发动机的防漏“皮拉密封垫”起家，现已发展为在东京证券交易所 Prime 市场上市（代码 6490）的集团企业，核心业务涵盖半导体、液晶及一般工业领域的氟树脂阀门/接头、风囊泵、机械密封等产品，尤其在半导体清洗设备用氟树脂接头领域占据全球约 90% 的份额 。

PAV 系列是 PILLAR 皮拉PILAFLON™高纯手动排气阀（通气阀），阀体直接集成 SUPER300 P 系列入珠接头，属于半导体 / FPD 湿法管路专用排气阀，配套 PE 风囊泵、PA 脉压调节器、PSV 截止阀、PGB 止回阀、PCAP 流量调节阀整套 PFA 流体系统，用于排出管路高点积聚的气泡。

PILLAR皮拉PILAFLON™手动排气阀工作原理：
T 型三通结构，进出口接入药液主管，顶部带手动排气手轮。
- 正常运行：手轮旋紧，内部 PTFE 阀座密封，药液在主管正常输送，无泄漏；
- 排气作业：缓慢旋松顶部手轮，管路高点积存的气体优先从顶部排气口排出；看到药液流出时立刻锁紧手轮，完成排气操作。
> 安装位置：管路*高点，专门用于开机、换液、检修重启时排空气泡，消除气堵。

PILLAR皮拉PILAFLON™手动排气阀核心产品特点：
1. 全接液高纯耐腐
阀体材质 PFA，阀座 PTFE；O 形圈二选一：EPDM 或 Kalrez 全氟橡胶。无金属接触药液，金属离子析出极低，耐受 HF 氢氟酸、硫酸、SC1/SC2 清洗液、显影液、蚀刻液等强腐蚀化学品，不会污染晶圆 / 基板。
2. SUPER300 一体化接头
阀体自带 SUPER300 入珠接头，直接对接 PILAFLON™ PFA 管材，免热焊、现场快速拆装，减少管路接头数量，降低泄漏风险，和整套皮拉管路系统完全匹配。
3. 小型轻量化，节省空间
紧凑 T 型结构，体积小巧，适合设备腔体内狭小空间安装。
4. 低死角流道
内部流道平滑，药液排空性良好，减少药液结晶、微粒附着，支持 CIP 在线清洗。
5. 手动可控排气
人工操作，排气过程可控，可避免大量药液喷溅，**性高。

PILLAR皮拉PILAFLON™手动排气阀典型应用场景：
半导体晶圆湿法清洗、刻蚀、剥离，FPD 液晶面板湿法制程高纯药液循环管路；安装在管路*高点，开机、更换药液、设备维护后排出管路内空气，消除气堵，避免气泡造成流量波动、压力跳动，保护下游喷嘴、流量计与热交换器。