PILLAR皮拉高精度气动波纹管定量泵PD-1000R

PD-1000R 属于 PILLAR PD 系列光刻胶专用精密容积式波纹管定量泵，专为半导体光刻涂布、高粘度光敏药液微量定量吐出开发，和 PC 系列 CMP 浆料泵、PE 风囊泵同属 PILAFLON 流体产品线，主打超高计量重复精度，适配光刻胶这类高粘度、对颗粒 / 金属污染极其敏感的药液。

工作原理：
气动波纹管容积式结构，依靠压缩空气驱动 PFA/PTFE 波纹管往复伸缩，完成吸液与定量排液；无机械轴封，杜绝轴封磨损产生颗粒。
泵体内置压力传感器，实时监测泵腔内部压力；配套皮拉专用泵控制器，设定波纹管冲程、动作频次，精准控制单次吐出体积。 
> 与 PC/CMP 泵差异：PC 系列侧重输送带固体颗粒的 CMP 研磨浆料；PD-1000R 核心是**超高精度微量定量吐出，适配光刻胶等高粘度无颗粒光敏药液。

PILLAR皮拉高精度气动波纹管定量泵PD-1000R核心产品特点：
1. 全氟接液，超高洁净
接液全部 PFA+PTFE 材质，无任何金属接触药液，无尘车间组装清洗，金属离子、微粒析出极低，避免光刻胶光敏污染，保障涂布膜厚均匀稳定。
2. **重复吐出精度
单次*大吐出量 10mL，吐出重复精度±0.005mL，微小吐液波动也可控制，满足光刻胶涂布严苛膜厚一致性要求。
3. 支持高粘度药液
*高可输送1000cP中高粘度流体，适配各类光刻胶、特种高粘度化学品。
4. 内置压力监测保护
自带泵腔压力传感器，实时采集压力信号并上传 PLC，可识别断液、管路气泡、压力冲击等异常并报警，保护昂贵光刻胶供给回路，降低晶圆报废风险。
5. 紧凑模块化设计
薄型一体化机身，节省涂布机内部安装空间；进出口可搭配 SUPER300 PFA 入珠接头，和整套皮拉 PFA 管路系统无缝对接。
6. 低死区流道
内部流道平滑，便于排空，减少光敏药液长期滞留变质。

PILLAR皮拉高精度气动波纹管定量泵PD-1000R典型应用场景：
1. 半导体晶圆光刻涂布设备，光刻胶精密定量吐出
2. CDS 药液供给柜、化学品精密配药微量添加
3. FPD 面板精密涂胶、高粘度显影液定量供给