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PILLAR皮拉紧凑型气动波纹管风囊泵
产品型号:PE-E系列
产品品牌:PILLAR皮拉
产品介绍:

日本 PILLAR 皮拉 SPELA™ PE-E 系列紧凑型气动波纹管风囊泵,PFA/PTFE 全氟接液无轴封,轻量化小型机身,适配 10~100℃高纯腐蚀性 药液,自带 SUPER300 入珠接口,搭配 PB-12 控制器与 PA 脉压调节器,用于半导体 / FPD 小型湿法清洗药液循环供给。

详细介绍

PILLAR皮拉紧凑型气动波纹管风囊泵PE-E系列



日本 PILLAR(皮拉)是一家拥有百年历史的流体制控专业制造商,1924 年创立于大阪,*初以船用发动机的防漏“皮拉密封垫”起家,现已发展为在东京证券交易所 Prime 市场上市(代码 6490)的集团企业,核心业务涵盖半导体、液晶及一般工业领域的氟树脂阀门/接头、风囊泵、机械密封等产品,尤其在半导体清洗设备用氟树脂接头领域占据全球约 90% 的份额 。

日本 PILLAR 皮拉 PE-E 系列属于 SPELA™ 品牌下的 PTFE 风囊泵 / 波纹管泵,通常以压缩空气为动力,用于半导体、光伏、液晶、医疗分析及高纯化学品输送系统中的腐蚀性液体输送。
产品定位:
PE-E 系列不是普通离心泵,而是面向 高纯药液、强酸强碱、溶剂、超纯水及含微量颗粒液体 的容积式气动泵。它采用 PTFE 等氟树脂接触结构,适合对金属离子析出、颗粒污染和化学兼容性要求较高的工艺管路。
结构与工作原理:
驱动方式:气动驱动,无需电机直接接触液体;
核心结构:采用风囊/波纹管结构,通过压缩空气驱动囊体往复变形;
输送方式:液相腔交替形成负压吸液、正压排液,实现连续输送;
流道特点:无叶轮结构,减少剪切、微泡和金属污染风险;
控制方式:可通过调节供气压力或气量控制流量。
主要技术特点:
高洁净度:湿端采用 PTFE 等氟树脂材料,适合半导体湿法工艺和高纯液体系统;
强耐腐蚀:可用于酸、碱、溶剂等腐蚀性化学药液;
低脉动输送:风囊/波纹管结构相比部分隔膜泵脉动更小,有利于稳定工艺流量;
无金属污染:接触流体部分通常避免金属材质,降低离子析出风险;
自吸能力:具备一定自吸性能,适合低位供液或药液桶转移;
可输送含颗粒液体:对含微量固体颗粒的液体适应性较好;
本质**:气动驱动,无电火花风险,适合易燃易爆环境。