PILLAR皮拉紧凑型气动波纹管风囊泵PE-E系列
日本 PILLAR(皮拉)是一家拥有百年历史的流体制控专业制造商,1924 年创立于大阪,*初以船用发动机的防漏“皮拉密封垫”起家,现已发展为在东京证券交易所 Prime 市场上市(代码 6490)的集团企业,核心业务涵盖半导体、液晶及一般工业领域的氟树脂阀门/接头、风囊泵、机械密封等产品,尤其在半导体清洗设备用氟树脂接头领域占据全球约 90% 的份额 。
日本 PILLAR 皮拉 PE-E 系列属于 SPELA™ 品牌下的 PTFE 风囊泵 / 波纹管泵,通常以压缩空气为动力,用于半导体、光伏、液晶、医疗分析及高纯化学品输送系统中的腐蚀性液体输送。 产品定位: PE-E 系列不是普通离心泵,而是面向 高纯药液、强酸强碱、溶剂、超纯水及含微量颗粒液体 的容积式气动泵。它采用 PTFE 等氟树脂接触结构,适合对金属离子析出、颗粒污染和化学兼容性要求较高的工艺管路。 结构与工作原理: 驱动方式:气动驱动,无需电机直接接触液体; 核心结构:采用风囊/波纹管结构,通过压缩空气驱动囊体往复变形; 输送方式:液相腔交替形成负压吸液、正压排液,实现连续输送; 流道特点:无叶轮结构,减少剪切、微泡和金属污染风险; 控制方式:可通过调节供气压力或气量控制流量。 主要技术特点: 高洁净度:湿端采用 PTFE 等氟树脂材料,适合半导体湿法工艺和高纯液体系统; 强耐腐蚀:可用于酸、碱、溶剂等腐蚀性化学药液; 低脉动输送:风囊/波纹管结构相比部分隔膜泵脉动更小,有利于稳定工艺流量; 无金属污染:接触流体部分通常避免金属材质,降低离子析出风险; 自吸能力:具备一定自吸性能,适合低位供液或药液桶转移; 可输送含颗粒液体:对含微量固体颗粒的液体适应性较好; 本质**:气动驱动,无电火花风险,适合易燃易爆环境。