产品类目
所在位置: 首页 > PILLAR皮拉
PILLAR皮拉标准型PTFE气动波纹管风囊泵
产品型号:PE系列
产品品牌:PILLAR皮拉
产品介绍:

日本 PILLAR 皮拉 SPELA™ PE 系列气动波纹管风囊泵,PFA/PTFE 全氟接液无轴封,分中温 MA / 高温 HB 型号,R 型抗疲劳 PTFE 风囊,自带 SUPER300 入珠接口,搭配 PB-12 控制器与 PA 脉压调节器,用于半导体 / FPD 湿法槽式高纯腐蚀药液循环供给。

详细介绍

PILLAR皮拉标准型PTFE气动波纹管风囊泵



日本 PILLAR 皮拉 PE 系列(即 SPELA™ 品牌)风囊泵,是一种专为高洁净、强腐蚀性工况设计的PTFE 气动波纹管泵。它采用全氟树脂材质,通过压缩空气驱动内部的 PTFE 波纹管往复运动来实现液体的**、无污染输送,广泛应用于半导体、光伏、液晶面板、精密分析仪器及高纯化学品的管路系统中。
产品定位:
PE 系列属于容积式气动流体控制泵。它摒弃了传统的电机和机械密封设计,完全依靠气动驱动和高洁净的氟树脂材料,旨在彻底解决强酸、强碱、超纯水及光刻胶等敏感介质在输送过程中的金属离子析出、颗粒污染、脉动过大及无泄漏等工艺痛点。


PILLAR皮拉标准型PTFE气动波纹管风囊泵核心结构与工作原理:
全氟树脂材质:与液体直接接触的所有部件(包括波纹管、泵腔、阀座等)均采用高纯 PTFE(聚四氟乙烯)等氟树脂材料,无任何金属接触面。
波纹管往复运动:利用压缩空气作为动力源,通过换向机构控制气动腔室内的正负压。气压的交替变化驱动 PTFE 波纹管产生伸缩变形,从而改变液相腔的容积,实现液体的吸入与排出。
无动密封设计:由于采用了全封闭的波纹管结构,动力气体与被输送液体被严格物理隔离,从根源上消除了传统机械密封磨损导致的泄漏风险。


PILLAR皮拉标准型PTFE气动波纹管风囊泵主要技术特点:
**高洁净度:全 PTFE 液接触流道,杜绝了金属离子的析出,且泵体内部无死角,不会产生微粒污染,满足半导体洁净室(如 Class 100)的严苛要求。
极强的耐腐蚀性:得益于全氟树脂材质,能够承受强酸、强碱、有机溶剂等各类极端化学介质的长期侵蚀。
低脉动、无剪切输送:相比传统的活塞泵,波纹管泵在吸排液过程中产生的液体脉动极小;同时流道内无高速旋转的叶轮,避免了因高速剪切产生微小气泡或对光刻胶等敏感介质的破坏。
优异的自吸与空转**性:具备较强的自吸能力,且允许短时间空载干转,不会像离心泵那样因干转而烧坏泵体,操作更加**可靠。
本质**防爆:全程气动驱动,无需接入电源,无电气火花风险,非常适用于易燃易爆的化学品输送环境。


PILLAR皮拉标准型PTFE气动波纹管风囊泵典型应用场景:
半导体与微电子:CMP 研磨液(Slurry)的循环与供液、湿法清洗槽(Wet Bench)中的酸碱药液(如 HF、SC-1/SC-2)转移、CDS 系统化学品配送。
平板显示与光伏:液晶面板清洗、蚀刻液(Etchant)的**输送与回收。
高纯化学品灌装:光刻胶、超高纯电子级溶剂、强酸强碱试剂的定量灌装与转移。
医疗与精密分析:实验室高纯试剂、超纯水的精密微量输送。