日本进口PILLAR皮拉大流量风囊泵
日本 PILLAR(皮拉,原日本皮拉工业)创立于 1924 年,是东京证交所上市的百年流体制御与密封技术专业厂商,依托氟树脂成型、精密密封核心技术,深耕半导体、FPD 面板、化工等领域,主打高洁净波纹管风囊泵、配套控制器(如 PB-12)、密封件等产品,其高纯耐腐蚀药液输送泵在湿法制程行业应用广泛,在全球多地设有分支机构,可为精密制程提供高可靠的流体输送与**监测整套解决方案。
日本 PILLAR 皮拉 PK 系列是面向 大流量、腐蚀性液体输送设计的 SPELA™ 风囊泵 / 气动波纹管泵。相比小流量 PTFE 波纹管泵,PK 系列更强调大口径、大流量和工艺系统循环能力,适合半导体、光伏、液晶、湿法清洗、CDS 化学品配送及高纯药液循环等场景。 产品定位: PK 系列属于 气动驱动容积式风囊泵,主要用于需要较大输送能力的工艺回路。它通过压缩空气驱动风囊往复变形,实现液体吸入与排出,适合输送超纯水、酸、碱、溶剂、清洗液、研磨液及其他腐蚀性或含微量颗粒液体。
日本进口PILLAR皮拉大流量风囊泵结构与工作原理: 驱动方式:压缩空气驱动,无需电机直接接触液体; 核心结构:采用风囊/波纹管容积式结构,液相腔与气相腔被柔性囊体隔离; 输送方式:气源压力推动风囊往复变形,液相腔交替形成负压吸液、正压排液; 流道特点:无叶轮、无机械密封,减少金属污染、泄漏和高速剪切风险; 接口形式:可配套 PILLAR SUPER 300 型 PILLAR FITTING™ 接头,便于接入 PFA/PTFE 管路系统。
日本进口PILLAR皮拉大流量风囊泵主要技术特点: 大流量能力:PK 系列定位高于小流量波纹管泵,适合循环、供液、配液等大流量工况; 耐腐蚀性强:适合半导体湿法工艺中的酸、碱、溶剂和高纯化学品; 低金属污染:风囊泵液接触部分通常采用氟树脂材料,降低离子析出风险; 脉动可控:可配套 PA-100H 脉压调节器使用,进一步降低出口脉动; 本质**:气动驱动,无电火花风险,适合易燃易爆化学品环境; 自吸能力较好:适合低位供液、药液桶转移和循环回路补液; 可输送含颗粒液体:对含微量固体颗粒的液体适应性优于部分离心泵。
日本进口PILLAR皮拉大流量风囊泵典型应用: 半导体湿法清洗设备中的酸、碱、清洗液大流量循环; CMP 研磨液供液、回收与循环回路; CDS 化学品配送系统中的药液转移; 光伏、液晶面板清洗工艺中的大流量药液输送; 超纯水、高纯溶剂、腐蚀性液体的循环与配液; 与 PILAFLON PFA/PTFE 管、P 系列接头、PSV 截止阀、PGB 止回阀、PCAP 调节阀等配套使用。