HORIBA STEC VG-200S 系列电容式**压力计，分为 VG-211S 标准精度、VG-221S 高精度型号。SUS316L 隔膜，支持非加热 / 55℃/100℃自恒温三种规格，测量不受气体种类影响，响应速度＜60ms，配备一键调零。0~10V 模拟输出，用于半导体刻蚀、ALD、CVD 腔体高精度真空压力监测，可与 D700 系列 MFC 配套实现腔体压力闭环控制。
型号区分 VG-211S：标准精度款 VG-221S：高精度款（主流选型） 量程可选：1Torr (133.32Pa)、10Torr (1.3332kPa)、100Torr (13.332kPa)、1000Torr (133.32kPa)HORIBA
核心特点 1. 三种传感器温度规格可选 - 常温非加热型 - 55℃恒温自加热 - 100℃恒温自加热 加热款可抑制工艺气体冷凝，适合含可凝性前驱体的 ALD/CVD 工艺，减少膜片污染漂移。 2. 接气材质 SUS316L 全金属结构 隔膜 SUS316L，耐卤素、氟化物等腐蚀工艺气体，适配半导体腐蚀性等离子制程。 3. 高精度与快速响应 - VG211S：精度 0.5% R.S；VG221S：精度 0.25% R.S - 响应时间＜60ms，腔体压力快速变化时实时跟随 - 一键 ReZero 一键调零功能，现场维护简单HORIBA 4. 小巧紧凑型本体 同温调产品里体积很小，节省腔体周边安装空间。 5. 输出与供电 - 模拟输出：0~10VDC - 电源：±15VDC 或 24VDC 两种供电可选 - 连接器：D-Sub15pin - 耐压上限：*高 350kPa (A)，CE/RoHS 认证HORIBA
选型注意要点 1. 有冷凝风险的前驱体工艺，优先选100℃温调款，防止气体凝结在膜片上造成零点漂移； 2. 安装接口：KF 法兰（标准 KF16），也可按要求定制； 3. 电容真空计不能测大气高压，选型必须确认腔体实际工作压力范围； 4. 定期执行一键调零，维持长期精度。