PV 系列是堀场 HORIBA STEC 的高速响应压电驱动阀门，半导体流体控制设备，和 VG-200S 压力计同属 HORIBA STEC 半导体产品线。单独是阀体，搭配压力传感器 / 流量传感器 + PCU 控制单元，可组成压力控制系统或者流量控制系统。
一、产品概述 采用压电陶瓷驱动 + 金属隔膜 + 金属 O 型圈，接气部位全部金属材质，无橡胶件，满足半导体超洁净工艺；响应速度极快，≤0.5 秒，不仅可以控制气体，部分工况也可用于液体控制HORIBA。
二、主要型号
1. PV-1000：基础标准款，流量范围：1CCM～5LM 2. PV-2000：大流量款，流量范围：10LM～50LM 3. PV-1000S / PV-2000S：高温版本，适配高温工艺环境HORIBA 阀门类型：常开 NO / 常闭 NC 可选
输入控制信号：0~5VDC 三、核心特点 1. 全金属接触介质：金属隔膜 + 金属 O 圈，洁净度高，放气低，耐腐蚀，适合特种工艺气体；氦检漏可达 5×10⁻¹² Pa・m³/s 2. 高速响应：动作响应小于 0.5 秒，适合需要快速稳压、快速调流量的工艺 3. 流量覆盖广：微小流量到中大流量都有型号可选 4. 安装无方向限制：任意角度都可以安装 5. 符合 RoHS 环保要求