光波动场三次元显微镜MINUK
—— 洞察真相,描绘未来。
ü 特点❶. 可评价纳米级的透明异物、缺陷、伤痕的大小、厚度、形状。
ü 特点❷. 一次拍照即可瞬时获取深度方向的信息。
ü 特点❸. 无需对焦,可高速测量。
ü 特点❹. 可非破坏、非接触、非侵入的测量。
ü 特点❺. 可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。
日本大塚电子株式会社是以光技术为核心的检测仪器公司,从事用于开发、制造以及销售医疗、计测、理化领域的仪器和设备。日本大塚电子株式会社历经5年多的时间,将大塚电子长期以来所积累的光学测量技术融入其中,2024年开发出了新产品光波动场三维显微镜“MINUK”。
产品卖点
MINUK*具代表性的是显示器用光学薄膜等功能性薄膜行业。由于可以测量世界上存在的以往的显微镜和台阶仪无法测量的伤痕、异物、形状,所以得到了来自各行各业的支持。
MINUK所使用的观察方法为大塚所**的至今*****。通过向测量对象物照射激光,而对象物的厚度和折射率会发生变化,进而导致波面变化,针对这种变化,使用波面传感器对其进行捕捉,而后使用**的软件进行数值解析,再现图像。通过这一设备,使用者可瞬时获取1400微米深度方向的对焦信息,在对此信息进行数码重新对焦后,可进行三维构造的追加验证。同时,在获取数据后,设备可在之后通过软件在任意的深度和位置进行重新对焦。700微米×700微米的宽广视野,可捕捉到小于0.5微米的线的宽度,实现高分辨率,且由于光学系未使用透镜,因此成像无失真和像差。
根据所观察的内容,使用者可以选择获取一次拍照图像或高品质图像两种模式。在一次拍照模式下,可实时高速测量,通过视频观察随时间变化;而在高品质图像模式下,可获得高品质的图像。
产品应用
作为应用,它可以测量透明材料和薄膜,如透明凝胶中异物的高度和三维形貌、薄膜内部的填充剂、透明薄膜表面的划痕,且能确认到划痕的高度、截面形状和三维形貌。例如检测智能手机中防反射膜和显示器中的偏光板膜上的透明伤痕及异物。
未来除薄膜或玻璃透明材料外,也有望在半导体、生物医学、化学等领域得到应用。
规格式样
分辨率 x,y
691nm(Oneshot)、488nm(合成)
视野 x,y
700×700μm
分辨率 z
10nm(相位差)
视野 z
±700μm
样品尺寸
100×80×t20mm(通用样品台)
样品台
微动XY样品台(自动) X:±10mm Y:±10mm 粗动样品台 X:129mm Y:85mm
激光
波长 638nm
输出 0.39mW 以下 Class1 (测样样品上的照射强度)
仪器尺寸 (宽度×纵深×高度)mm
本体:505(W)×630(D)×439(H) ※不含PC、附属品
重量
41kg
消耗功率
本体:290VA ※不含PC、附属品