产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...
产品信息
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（** 第4834847号）
● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、**性高的白色LED光源
测量项目
● 多层膜厚解析
用 途
● 光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）
● FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）
● 半导体晶圆的面内分布测量
● 玻璃基板的面内分布测量
● 实时测量
● 流向品质管理
● 真空室适用
● 宽度方向品质管理