Otsuka大塚电子的晶圆膜厚仪采用分光干涉法进行非接触、无损测量，适用于硅晶圆、玻璃基板等材料的厚度检测，具备高精度、实时监测等特点。 ‌

本大塚otsuka 进口显微分光膜厚仪替代椭偏仪 OPTM-A1A2A3产品特点：
通过显微分光高精度测量反射率（多层膜厚、光学常数）
实现微小领域的测量（光斑φ3μm ～）
100nm以下薄膜也可高精度解析光学常数
拥有丰富的薄膜·玻璃等的透明基板的测量实绩
测量功能集中在头部，可嵌入自动测量设备
每点 1 秒内高速测量
在显微镜下实现宽测量波长范围（紫外 ~ 近红外）的光学系统
带区域传感器的**机构
简单的分析向导，即使是初次使用的用户也可以进行光学常数分析
内置宏功能，可自定义测量序列
可以分析复杂的光学常数（多点分析方法）
提供 300 毫米载物台
兼容各种定制
日本大塚otsuka 进口显微分光膜厚仪替代椭偏仪 OPTM-A1A2A3产品参数：
型号 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波长范围
230-800nm 360-1100nm 900-1600nm
厚度范围 1 nm～35 μm 7 nm～49 μm 16 nm～92 μm
样品量*2 *大200×200×17 mm
光斑直径 φ5、φ10、φ20、φ40um
类型
自动 XY 载物台型 固定框架类型 内置头型
尺寸（W*D*H） 556×566×618 mm 368×468×491 mm
210×441×474 mm
90×250×190 mm*
重量 66Kg 38Kg
23Kg
4Kg
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA