特征
NAS Giken 的特点
出色的体蚀刻能力
我们的块状蚀刻性能非常好，我们保证平整度在 10% 以内。
世界**的污染回收能力
我们还获得了亲水硅片回收的国内**，并拥有世界**的功能和技术能力。
产品分类 简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
无尘通风柜（NCD系列）
追加了SC-2000 / SC-3000无法实现的亲水晶圆污染物采样功能。
可以对硅材质以外的晶圆、由于蚀刻等导致表面粗糙的晶圆进行采样操作。当然，也可以进行传统的憎水采样操作。
SC-3100
●通过与计算机联机，可选择丰富多样的采样模式，对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。 ●因为不太需要外部资源，也不太占地方，易于导入。 ●采样操作由设备自动完成，无需熟练工就可轻松完成采样操作。 ●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-2000相比，可以减少由操作员引起的污染。 SC-8100 ●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。 ●对于晶圆表面状态、采样液种类的要求不苛刻，另外，还可以对非重金属离子进行采样。 ●当然，也可以进行传统的憎水采样操作。 SC-9100 ●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。 ●对于晶圆表面状态，以及采样液种类的采样限制，本设备有所突破，另外，也可以对非重金属离子进行采样。 ●当然，也可以进行常规的憎水采样操作。 ●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-8100相比，可以减少由操作员引起的污染。