Otsuka Electronics Co., Ltd日本大塚OPTM 系列显微分光膜厚仪

Otsuka Electronics Co., Ltd日本大塚是一款可替代椭偏仪的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。它采用非接触、非破坏式测量，量测头可自由集成在客户系统内，单点对焦加量测在 1 秒内完成，可分析多层薄膜厚度、光学常数等，*小对应 spot 约 3μm。